CKDは、12月14日(水)～16日(金) 東京ビックサイトで開催される「SEMICON Japan 2022」に出展する。

同社は、半導体産業の最先端を支えるファインシステム機器を供給。半導体デバイス製造のファシリティから生産プロセス装置まで、薬液・ガス・真空・空圧制御のトータルソリューションを提案する。
展示会では、真空圧力制御システム「IAVB」シリーズをはじめ、高温・高耐久ガスバルブ「AGD」シリーズ、薬液用マニュアルバルブ「MMD※03RN」シリーズ、電動アクチュエータ「EJSG」シリーズを出展する。

高真空用機器の真空圧力制御システム「IAVB」シリーズは、従来の高真空バルブの信頼性は継承しつつ、多彩なプロセスを実現する圧力制御を可能にした。主に半導体製造工程の前/後工程に貢献する。

プロセスガス用機器の高温・高耐久ガスバルブ「AGD」シリーズは、微細化の進展により求められる高耐久に対応するプロセスガス用バルブで、ニーズに合わせ3種類のタイプを準備している。主に薬液供給設備向け機器、薬ガス供給設備向け機器、半導体製造工程(前工程)、N2パージ関連機器に対応する。

マニュアルバルブの薬液用マニュアルバルブ「MMD※03RN」シリーズは、薬液用マニュアルバルブの新型スタンダードタイプ。
幅広く圧力・温度・流体の条件に対応するハイエンド商品で、締付防止機構・誤作動防止ロックリングなどの新機構で信頼性をさらに向上した。

スライダ・ロッドタイプの電動アクチュエータ スライダタイプ「EJSG」シリーズは、様々な環境・工程で安心して使用可能な電動アクチュエータ。粉塵環境用、低発塵環境用、二次電池製造工程用、食品製造工程用のバリエーションを用意している。
また、顧客の要望に応えアクチュエータのオーダーメイドも行っている。
アウターレール方式のガイドを使用し、コンパクトでさらに高剛性を実現したモデルで、アクチュエータのサイズダウンによる装置省スペース化に貢献する。

■SEMICON Japan 2022概要
●会期：2022年12月14日(水)〜16日(金)
●時間：10：00～17：00
●会場：東京ビッグサイト
●小間番号：東4ホール No.4708
■CKD半導体関連製品↓
https://www.ckd.co.jp/semiconductor/jp
(※資料提供：CKD)