東洋炭素は、2022年12月19日(月)～ 21日(水)、福岡国際会議場において開催される、「先進パワー半導体分科会/第9回講演会」に出展する。

同展示会は、長期的な活況が見込まれるSiCパワー半導体をはじめ、GaNや酸化ガリウムなど国内のパワー半導体に関わるメーカー及び装置、部材メーカーが参加する。
東洋炭素は、SiC半導体に関連する各種複合材料ならびに黒鉛材料を紹介する。

期間中は、世界トップクラスのシェアを誇る東洋炭素の表面処理材料、SiCコート被覆材PERMA-KOTE(R)を紹介。身近な生活を支える半導体デバイス、その製造工程で活躍中のPERMA-KOTE(R)の採用事例を紹介する。
暮らしに欠かせないスマートフォン、パソコン、自動車、家電などのシステムに搭載されている半導体デバイスの製造工程において東洋炭素の製品が貢献している貢献していることを講演で解説する。

半導体製造の様々な工程で、東洋炭素の等方性黒鉛が多用されているが、中でも黒鉛製品の消耗を抑えライフアップが実現できるSiCコート被覆材「PERMA-KOTE®」について解説する。

半導体デバイスの基板材料となるシリコンウェーハを製造する際、溶解温度は約1,500℃と極めて高くなるため、製造装置の構造部品として耐熱性に優れた等方性黒鉛が多用されており、そり中でも上部パーツはPERMA-KOTE(R)を採用することで、黒鉛とSi(シリコン)との反応を防止しライフアップにつながる。
また、照明などに使用されるLEDチップを製造の際には、MOCVD法などによるGaN成長時に黒鉛とアンモニアガスとの反応を防ぐため採用されている。

■先進パワー半導体分科会/第9回講演会
https://annex.jsap.or.jp/adps/scrm09/index.html■PERMA-KOTE®の詳細
https://www.toyotanso.com/
(※資料提供：東洋炭素)