三菱マテリアルは、同社が開発した有機EL・液晶TFT配線用黒化膜スパッタリングターゲット「DIABLA」が、公益社団法人 日本表面真空学会のスパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)の第166回定例研究会においてSP部会賞を受賞した。

同賞は、スパッタリングおよびプラズマプロセス技術、並びにその関連分野の発展に寄与した顕著な業績に対して贈られるもので、今回の受賞を受け、2021年3月26日に開催された受賞式で記念講演を行った。

■有機EL・液晶 TFT配線用黒化膜スパッタリングターゲット「DIABLA」の特設ページ↓
https://www.mmc.co.jp/adv/ele/ja/diabla.html